中科院研究员：都不相信中国能突破EUV，但我们已开始换道超车

封锁之下自主子系统先行

半导体产业里光刻机这块一直卡得紧，外界对EUV的出口管制搞得大家都知道难度不小。

荷兰那家公司独占量产能力，把激光等离子体技术捏在手里，激光器来自美国后来被收购的那家，镜组靠德国独供，专利堆了上千项，曝光装置部分就超过一千五百个。中国没坐等，而是从核心部件抓起。

清华大学机械工程系带头的双工件台项目，二零一六年完成内部验收，总投入两亿两千三百万元，针对六十五到二十八纳米干式和浸润式需求，突破了平面电机、超精密测量这些关键点，申请了两百三十一项专利，其中不少是国际发明专利。团队培养出近两百人，这一步走稳了，为整机自主打下实在基础，避免完全被外部卡住脖子。

换道之中多技术路线并进

中科院自然科学史研究所研究员刘益东在凤凰卫视节目里提到，外媒说中国做出EUV原型机，不少人第一反应就是怀疑咱们有这本事吗。技术门槛摆在那，疑问很正常，但他点出关键，现在半导体已经走上换道超车的路子，跟国外方向不一样。

中国研究EUV没死磕单一路径，而是多条并进，包括激光诱导放电等离子体方案，还有清华大学早年提出的稳态微聚束技术。这样的选择主要是为了绕开专利壁垒，那边曝光装置专利密密麻麻，跟进的话容易被堵死，多路线就能灵活避坑，哪条通哪条上。

稳态微聚束从概念到验证花了工夫，二零一七年四月开始理论模拟和数值计算，团队先后八次去德国柏林合作，用一千零六十四纳米激光操控储存环电子束，二零一九年八月三十一日实验成功，证明电子光学相位能精确锁定。

论文二零二一年二月二十五日登上自然杂志，显示能产生高功率窄带宽相干辐射，波长覆盖到极紫外段，有望解决光源这个最核心难题。

清华大学还向国家发改委提交了专用研究装置建议书，推动上下游配合。比起传统激光等离子体，这种路径把光源和曝光分开，供应链压力小不少，产业界觉得这是实打实的另辟蹊径。

研究员访谈里把这些说得很清楚，多技术路线不是瞎试，而是基于实际情况选的。激光等离子体之外的放电等离子体也在实验室推进，大家都在比对参数找最合适的那条。专利问题不是小事，国外那套链条吸纳全球资源，中国要是完全复制，绕不过那些壁垒。

多路线就等于多备几手，降低单一依赖的风险。半导体自主这盘棋下得稳，子系统先动，多路径跟上，步调一致又不死板。行业里不少人现在看清了，这不是跟跑，而是自己开道，效果慢慢显现出来。

验证之后原型设备稳步测试

二零二五年高伟民加入清华大学集成电路学院，他之前从一九八五年浙江大学毕业后，在比利时微电子中心、美国新思科技干过，二零一八年到二零二五年在阿斯麦中国任技术总监，积累二十多年从零点一三微米到五纳米的工艺经验，特别专注极紫外应用开发。

人才这样回流，把国际一线做法带到国内教学和研究中，学生们能直接接触实际节点优化思路。这一步对人才培养帮助大，产业链上下游也多出交流渠道，国产设备研发少走弯路。

原型机测试还在持续推进，重点放在光源稳定性和曝光匹配上。供应链联合攻关发射器和曝光装置，光学企业、机械厂一起调材料纯度和运动轨迹，参数记录得细，优化一轮接一轮。双工件台技术从二零一六年就成熟，现在跟新光源结合，整体自主性提升明显。

行业数据显示，国产光刻相关装备在成熟制程上已经形成配套，先进领域也在加速填补。研究员那番话其实点到本质，大家对突破有疑问，但事实一步步证明，多路线走对了。