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楚赟精工科技取得基座和气相反应装置专利,减少承载区侧壁对基片传热造成的基片中部和边部之间温度不均匀性

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国家知识产权局信息显示,楚赟精工科技(上海)有限公司取得一项名为“基座和气相反应装置”的专利,授权公告号CN223963570U,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种基座及气相反应装置,承载区包括凹穴,且其凹穴的边缘区开设有弧形槽,弧形槽的顶面开口包括相对的第一端和第二端,第一端和第二端与弧形槽所在的承载区的中心的连线之间的第一锐角a为85°~95°,以减少承载区侧壁对基片传热造成的基片中部和边部之间温度不均匀性。弧形槽中设置有至少一个边部支撑件,边部支撑件的顶表面与承载区的中部的顶表面齐平,使得当基片放置在承载区上时,基片的部分边部悬空于弧形槽的上方,该悬空的部分边缘同时被边部支撑件支撑。通过上述弧形槽结合边部支撑件的设置协同调整边缘区与基片边部的接触面积,进而优化基片边部的传热均匀性。

天眼查资料显示,楚赟精工科技(上海)有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,楚赟精工科技(上海)有限公司参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息96条,此外企业还拥有行政许可1个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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