国家知识产权局信息显示,湖南红太阳光电科技有限公司取得一项名为“一种自动调节水汽含量的PVD设备”的专利,授权公告号CN223951163U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种自动调节水汽含量的PVD设备,包括:反应腔体、数据终端、残余气体分析仪和水汽发生机构;所述残余气体分析仪和水汽发生机构均与数据终端连接,所述反应腔体分别与残余气体分析仪和水汽发生机构连接,所述残余气体分析仪用于监测反应腔体内的水汽含量,并将水汽含量数据传输至数据终端,所述数据终端根据残余气体分析仪反馈的水汽含量数据,控制水汽发生机构自动输送水汽至反应腔体内。本实用新型具有结构紧凑、维护便捷、自动化程度高等特点,通过对水汽量化控制,获得最佳工艺窗口,从而使得不同批次的薄膜沉积更加均匀,不同批次的薄膜性能也更为稳定,显著提高了PVD工序的工作稳定性及效率。
天眼查资料显示,湖南红太阳光电科技有限公司,成立于2009年,位于长沙市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本65270.9万人民币。通过天眼查大数据分析,湖南红太阳光电科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目29次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息438条,此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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