北京
国家知识产权局信息显示，苏州德睿科仪仪器设备有限公司取得一项名为“一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置”的专利，授权公告号CN223955954U，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的光照装置，基座顶端设有移动机构，移动机构顶端连接设有承载座，承载座的顶端连接设有承载台，承载台的顶部中心处连接设有吸附平台，基座顶端一侧连接设有安装座，安装座的顶端连接设有光照装置，光照装置包括上箱体和下箱体，上箱体内设有电源组件，下箱体内设有灯源组件，下箱体的底部中心处设有照射窗口，灯源组件包括灯管、反光罩和灯管支座，灯管支座的底端与下箱体的下板连接，灯管的两端与其对应的灯管支座上部连接，反光罩置于灯管的上方，且反光罩的两端与灯管支座连接，通过设有光照装置，不经操作简单，同时曝光效果良好，提高了产品的良品率，同时制造成也大大降低。
天眼查资料显示，苏州德睿科仪仪器设备有限公司，成立于2013年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州德睿科仪仪器设备有限公司参与招投标项目16次，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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