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美荷两国曾同时发声,对中国独立研发的光刻机技术给予了强烈批评

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西方围绕光刻机发起的这场系统性“围堵”,堪称一套环环相扣的战略压制体系——既在硬件端实施严丝合缝的技术禁运,又在认知端密集投放质疑叙事。其深层意图,是向全球产业界锚定一个固化印象:中国在尖端制造领域不具备自主突破能力。

这场布局早在2023年便悄然启动,由美国牵头,联合多个技术盟友展开跨部门、跨层级的政策协同与出口管制对齐。



2024年9月7日,荷兰政府突然升级深紫外光刻设备(DUV)出口管制清单,明确将ASML主力机型NXT:1970Ci与1980Di列入受限目录,动作之迅疾、指向之精准,凸显出事前周密筹划的特征。

仅一个月后,美国商务部于10月正式发布修订版《出口管理条例》,不仅全面禁止DUV整机对华交付,更进一步延伸至所有关键子系统、校准模块及远程诊断权限,连现场工程师驻厂支持也被划入红线范围。



这种覆盖设计、制造、运维全生命周期的“全链条阻断”,根本目的在于压缩中国晶圆厂的技术演进空间,使其先进制程产线逐步丧失持续迭代能力,最终滑向结构性失能状态。

更具策略性的配合动作,则体现在思想舆论场的同步施压。欧美主流研究机构与头部财经媒体几乎同步推出系列分析报告,口径高度统一地将中国技术进展归因为“仿制式追赶”,刻意弱化其在光学系统集成、运动控制算法、精密温控等底层模块上的原创积累。



ASML首席执行官在12月一场闭门投资者会议上直言,若无法获得极紫外光刻(EUV)设备,中国芯片制造水平将在未来十年以上时间里难以实现代际跃升。此类论断并非基于客观技术评估,而是意在动摇产业链上下游对中国长期投入的信心根基。

但事实证明,外部高压非但未能迟滞中国半导体发展节奏,反而成为激发自主创新动能的关键催化剂。



中国光刻装备的研发脉络可追溯至本世纪初——2002年上海微电子装备公司(SMEE)正式注册成立,标志着国产光刻机研发进入实体化推进阶段。从早期依赖引进消化吸收,到2015年前后稳定量产90纳米节点整机,十余年间始终以扎实步调夯实基础能力。

2022年迎来实质性突破:SMEE完成28纳米浸没式光刻机全部功能验证与稳定性测试,宣告我国首次具备支撑成熟先进制程的整机研制能力,真正跨越了长期横亘于研发与产业化之间的鸿沟。



令国际业界尤为震动的是中芯国际所采取的“非对称攻坚路径”:依托现有DUV平台,通过多轮次高精度套刻曝光叠加工艺创新,成功实现逻辑芯片关键层的等效分辨率跃迁。

2024年4月,5纳米工艺节点芯片实现稳定流片并批量导入华为新一代旗舰SoC,这一成果彻底击碎了此前外界关于“技术天花板不可逾越”的预设判断。



更值得关注的是产业链响应速度显著加快:3月国产准分子激光光源模块通过ISO 14644-1 Class 1洁净等级实测;随后不久,适用于ArF干式光刻的新型有机金属光刻胶完成中试验证并启动客户送样。

从核心发光单元到光敏化学材料的“端到端贯通”,标志着一个具备自我修复、自我迭代能力的本土光刻生态体系已初步成型。



当前局势呈现出耐人寻味的反差图景:昔日掌握规则制定权的巨头们,正面临前所未有的战略焦虑。

据ASML最新财报披露,中国大陆市场营收占比已由峰值时期的近三成下滑至约20%,这一数字背后,是真实订单流失与渠道萎缩的双重压力。



其CEO公开表态亦显现出明显张力:一方面在行业论坛上强调“中国短期内难有颠覆性替代方案”,另一方面却在季度业绩说明会上郑重提示,“来自中国企业的技术追赶正构成实质性竞争威胁”,语气之凝重远超以往任何一次风险提示。

更有消息源指出,荷方曾通过非正式渠道试探性提出“有条件重启DUV供应”的设想,前提是中国放缓自主研发进程。此举恰恰印证,封锁政策正在反向加速西方企业与中国市场的脱钩进程。



当下,中国在光刻相关领域的发明专利申请量连续三年保持65%以上的年均增速,涵盖光学镜头装调、硅片台动态补偿、真空环境粒子抑制等多个关键技术方向。

公众认知层面也完成了一次深刻转型:从初期的情绪化反应,转向理性审视技术演进规律;社会共识日益清晰——真正的战略定力,不源于口号式的宣示,而根植于一代代科研人员伏案攻关的日日夜夜。



这场横跨太平洋的技术竞逐终将揭示一个基本规律:任何企图以行政手段强行扭曲全球分工体系、人为设定技术进步边界的举措,最终都将强化被压制方的体系韧性,并加速其核心技术的自主闭环。

曾被奉为“制造业皇冠上的明珠”的光刻机,在中国工程师数万小时的反复推演与实机调试中,正褪去神秘光环,回归其作为精密机电系统的真实本质。



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