研材微纳申请基于液体表面张力的晶圆自对准结构及方法专利，完成亚微米级精对准

国家知识产权局信息显示，苏州研材微纳科技有限公司;苏州美图半导体技术有限公司;西安博研微纳信息科技有限公司申请一项名为“一种基于液体表面张力的晶圆自对准结构及方法”的专利，公开号CN121568596A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明提供一种基于液体表面张力的晶圆自对准结构及方法，该晶圆自对准结构包括：相互键合的上晶圆和下晶圆；至少一个凸起结构，设置在所述上晶圆的键合面上；所述凸起结构由低熔点材料构成；至少一个凹槽结构，设置在所述下晶圆的键合面上，所述凹槽结构与所述凸起结构一一对应配合；所述凹槽结构的底部和侧壁设有用于增强润湿的薄膜层。本发明的技术核心在于采用“固态预定位‑液态精校正”的复合对准机制：首先通过凸起结构与凹槽结构的机械配合实现粗对准；随后在键合加热过程中，凸起结构的低熔点材料熔化，在表面张力驱动下自动流向凹槽底部锚定点，完成亚微米级精对准，并能够动态补偿热应力引起的偏移。

天眼查资料显示，苏州研材微纳科技有限公司，成立于2015年，位于苏州市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州研材微纳科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目114次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可2个。

苏州美图半导体技术有限公司，成立于2012年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本121.67万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州美图半导体技术有限公司参与招投标项目56次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息66条，此外企业还拥有行政许可2个。

西安博研微纳信息科技有限公司，成立于2017年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安博研微纳信息科技有限公司参与招投标项目86次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可9个。

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本文源自：市场资讯

作者：情报员