证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“曝光辅助图形的确定方法、装置和计算机设备”,专利申请号为CN202511649076.1,授权日为2026年2月24日。
专利摘要:本申请涉及一种曝光辅助图形的确定方法、装置和计算机设备,包括:获取锚图形的光强分布曲线,以及锚图形在目标曝光剂量下的目标关键尺寸;目标曝光剂量为标准曝光剂量范围的上限值或者下限值;根据目标关键尺寸和光强分布曲线,确定目标光强度阈值;对初始版图图形进行光刻仿真,得到光强分布数据;基于目标光强度阈值和光强分布数据确定初始版图图形上的热点区域;初始版图图形包括主图形和初始辅助图形,初始辅助图形用于对主图形进行光学临近校正;对位于热点区域的初始辅助图形进行修正,得到曝光辅助图形。基于本申请的曝光辅助图形的确定方法得到的曝光辅助图形在后续光刻过程中不会被曝光出来,进而提高了产品良率。
今年以来晶合集成新获得专利授权79个,较去年同期增加了163.33%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元,同比增13.13%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目638次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息1632条,著作权信息9条;此外企业还拥有行政许可22个。
数据来源:天眼查APP
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