荷兰半导体专家：ASML花费40年钻研光刻机，中国企业竟比ASML还狠

前沿导读

荷兰半导体观察者马克·海金克在访谈中指出：光刻技术是一种非常独特的比赛，ASML花费了40年的时间钻研光刻机，才达到了如今的水平。但ASML也确实预见到了中国企业有独特的理由在光刻机上面投入更多的时间和精力来研发自己的制造设备，哪怕是华为这种从没有涉足过半导体制造技术的“门外汉”，也在深入研究相关的设备技术，这种情况在整个产业的发展史上还是第一次出现。

技术竞争

目前还在研究光刻机整机制造的企业屈指可数，国际层面只剩下荷兰、日本、中国这三个国家的企业。

早期的芯片产业，由于其技术水平没有现在这么先进，晶体管规模也不大，所以对于光刻机的需求也没有那么高。随着时代的发展，芯片产业进入到大规模时代，光刻机产业也迎来了升级，进入到了追求高分辨率、高制造效率、高稳定性的市场格局。

彼时研发光刻机的企业数量较多，知名的就是美国GCA、珀金埃尔默、日本的佳能、尼康、荷兰飞利浦（ASML母公司）。

这些研发光刻机的企业，要么就是老牌的工业光学巨头，要么就是具有多个产业链的跨国工业集团，而中国的光刻机产业在这个时期只是当做一种科研项目进行，并没有考虑到后续的商业化发展。

美国是晶体管、集成电路、光刻技术的发明国，早期依靠军工产业让芯片技术实现了商业化发展。为了满足军工行业的数量要求，美国企业开始研发可以量产芯片的光刻机，GCA和珀金埃尔默依靠产业的先发优势，成为了全球光刻机的第一任市场霸主。

紧接着就是日本半导体产业的崛起，日本通产省推出了超大规模集成电路计划，从材料、技术、设备等多个领域提升本土半导体产业的发展。

光刻机是制造芯片的核心设备，尼康和佳能在光学领域深耕多年，承担了日本光刻机的研发工作。并且通产省还联合东芝等存储器制造商参与光刻机的优化工作，带动整个产业链一起前进。

尼康通过对美国GCA光刻机进行逆向工程，掌握了其制造逻辑，随后便“照猫画虎”开发了尼康首款光刻机NSR-1010G。

为了抢占美国企业的市场，日本企业开始注重客户服务，不但售卖光刻机，而且还同时提供技术服务，解决客户在使用过程中的部分问题。

由于GCA的市场占比极高，而且没有竞争对手，这导致GCA管理层开始怠慢客户，许多制造商对此非常不满。而日本企业正是意识到了这一点，开始用客户服务拉拢人心，一步步夺走了美国企业的客户群体，成为了第二任全球光刻机产业的霸主。

ASML早年是飞利浦集团旗下的技术部门，但是由于其迟迟无法给母公司创造经济，于是飞利浦将该部门独立出来，与荷兰设备制造商ASM以及荷兰政府共同组成新合资公司ASML。

ASML早期的光刻设备整体性能落后，尤其是在面对美日两国的产品时，除了价格其他一点优势也没有。哪怕是价格便宜，也几乎没有外来客户，都是飞利浦自家的工厂使用。

但是随着PAS系列光刻机的推出，ASML自家的对准技术开始受到关注。晶圆台对准技术是ASML一直以来的强项，此前因为芯片的内部设计简单，所以对准技术没有明显优势。但是随着芯片内部设计越来越复杂，拥有对准技术的ASML光刻机开始受到追捧，尼康和佳能的市场空间开始被蚕食。

联合发展

负责光刻机制造的企业，几乎都是有精密工业基础的企业。

尼康和佳能是光学工业巨头，也是全球范围内的顶级摄影器材供应商，并且佳能还负责制造3D打印、虚拟现实、扫描仪、印刷机等工业设备。

在日本政府推动的超大规模集成电路计划当中，与尼康、佳能联合开发设备的还有东芝等企业，东芝是存储芯片制造商，不但掌握存储芯片的设计技术，而且旗下还有制造工厂和制造生产线，这种合作模式属于是让两个涉足制造业技术的企业进行深度融合。

ASML也是联合制造商台积电一起开发设备，依靠台积电的浸润式技术甩开了日本企业。

而中国企业发展光刻机则是拉拢产业链各环节较为顶尖的企业，以综合水平较强的企业为核心，支撑其实现产业突破。

华为是目前最符合这个定位的企业，同时涉足通讯产业与半导体设计产业，而且还拥有终端消费市场的业务板块。只要将制造生产线和制造设备环节打通，华为就会变成类似于美国英特尔、韩国三星的大型科技集团，不但拥有芯片设计能力，而且还拥有制造能力，并且还拥有自己的消费品牌，走垂直一体化路线。