【竞争格局】中国ALD设备行业市场概览、投资热点及发展趋势预测报告

来源：智研咨询

报告导读：

ALD（原子层沉积，Atomic Layer Deposition）设备是一种先进的薄膜制备技术。设备通过将两种前驱体以气体脉冲的形式交替引入反应器，两种前驱体之间靠真空泵抽取或惰性气体吹扫实现隔离，前驱体分子通过吸附在样品表面发生反应生成薄膜或团簇。即利用交替、自限性的表面化学反应，在基底上逐层生长出高度均匀、致密、保形性极佳的纳米级薄膜的工艺。2024年，中国ALD设备行业市场规模约45.22亿元，同比增长7.23%。行业从国际巨头垄断演变为国产力量多元竞争，北方华创、拓荆科技、微导纳米等企业实现28nm及以上逻辑芯片和128层以上3D NAND存储芯片的量产应用。

基于此，依托智研咨询旗下ALD设备行业研究团队深厚的市场洞察力，并结合多年调研数据与一线实战需求，智研咨询推出《2026-2032年中国ALD设备行业市场全景调研及投资前景研判报告》。本报告立足ALD设备新视角，聚焦行业核心议题——变化趋势（怎么变）、用户需求（要什么）、投放选择（投向哪）、运营方法（如何投）及实践案例（看一看），期待携手行业伙伴，共谋行业发展新格局、新机遇，推动ALD设备行业发展。

观点抢先知：

行业发展阶段：20世纪70年代至2013年为起步期，依赖进口设备，ASM、TEL垄断中高端市场；2014-2018年进入自主研发阶段，北方华创承担国家02专项突破28-14nm技术，微导纳米2016年完成首台原型机研发，2017年量产型设备交付客户；2019-2022年实现产业化突破，微导纳米高k介质ALD设备通过28nm晶圆厂验证并获重复订单，拓荆科技PEALD/Thermal-ALD完成产业化验证；2023年至今进入应用拓展期，国产设备在3D NAND、GAA晶体管等先进结构中取得关键突破，拓荆科技2023年装机量及工艺覆盖率双第一。行业整体形成从光伏到半导体、多领域拓展的完整产业链，推动全球ALD技术发展进程。

行业发展有利因素：2025年集成电路产量达4842.79亿块，同比增长7.28%，直接拉动ALD设备需求。技术层面，ALD原子级精度和三维保形性使其成为3nm以下先进制程及GAA晶体管、千层堆叠3D NAND的核心技术，粉体ALD、硅光子等新兴应用开辟增量市场。产业链层面，上游前驱体材料国产化率提升，核心部件如MFC、真空泵本土化率提升，中游设备厂商如北方华创、微导纳米形成全系列产品线，下游光伏TOPCon、OLED封装、锂电池固态电解质涂层等领域需求激增，形成“材料-设备-工艺-应用”协同生态。

产业链核心节点：ALD设备行业产业链上游主要包括金属有机前驱体、氧化剂、反应气体等原材料，以及高精度质量流量控制器（MFC）、真空泵、ALD专用阀组、等离子体源、加热平台和石英/SiC反应腔体等关键系统。产业链中游为ALD设备研发生产环节。产业链下游主要应用于半导体制造、光伏、新能源、显示面板、MEMS传感器、光学器件、生物医疗等领域。

市场规模：在“后摩尔时代”，原子层沉积（ALD）技术凭借其独特的原子级精度和优异的三维保形性，正从辅助工艺跃升为制造先进芯片三维结构的关键核心技术。2024年，中国ALD设备行业市场规模约为45.22亿元，同比增长7.23%。一方面，集成电路制造正持续向更先进的节点突破，制造工艺步骤成倍增加，直接拉动了对ALD设备的核心需求。另一方面，“超越摩尔”战略下的广阔应用正成为新的增长引擎。高效太阳能电池（TOPCon）的产业化、OLED柔性显示的精密薄膜封装、锂电池固态电解质涂层等新能源及新材料领域，正为ALD技术开辟远超传统半导体领域的巨大增量市场。

竞争情况：中国ALD设备行业的竞争格局正在发生深刻变革，已从国际巨头的绝对垄断，演变为国产力量凭借差异化路径、在政策与市场需求双重驱动下奋起直追的多元竞争新局面。北方华创、拓荆科技、微导纳米为代表的国产领军企业强力冲击，不仅在光伏、显示等泛半导体领域取得了主导地位，更成功将量产型ALD设备导入国内28纳米及以上逻辑芯片和128层以上3D NAND存储芯片的生产线。

市场趋势：随着3nm以下节点芯片制造转向3D结构，ALD凭借原子级精度成为GAA晶体管、3D NAND等复杂结构的核心技术，从辅助工艺升级为核心环节。应用领域从集成电路扩展至光伏TOPCon钝化层、OLED封装、锂电池固态涂层等，驱动全球市场快速扩张。国产替代加速，头部企业已在28nm及以上产线实现批量应用。未来，企业将通过“ALD+CVD”平台化、前沿工艺联合研发及粉体ALD、硅光子等新兴赛道，开拓更广阔增量市场，支撑行业持续发展。

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数据来源与处理说明：

《2026-2032年中国ALD设备行业市场全景调研及投资前景研判报告》基于最新、最全的中国产业链数据，融合权威官方统计、深度企业调研、资本市场洞察及全球信息，通过严格的智能处理和独家算法验证，确保分析结论高度可靠、透明且可追溯。

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