北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于确定图案化衬底的关键区域的设备和方法”的专利，公开号CN121548772A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种计算机程序产品，包括其中具有指令的计算机可读介质，该指令在由计算机系统执行时被配置为使该计算机系统至少：基于所获得的对衬底的一个或多个核查区域的第一扫描，生成一个或多个核查区域的表面的表面图；计算每个核查区域的表面图的一个或多个关键性能指标（KPI）的值；以及经由生成第二扫描的技术来确定该异常值核查区域以用于核查，其中异常值核查区域是具有不在该KPI的值的可接受的预定范围内的至少一个KPI的区域。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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