北京
国家知识产权局信息显示，江苏智芯达科技有限公司申请一项名为“一种一次成型3面布线PVD镀膜机及方法”的专利，公开号CN121519012A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种一次成型3面布线PVD镀膜机及方法，包括制程腔体模组、靶材模组、治具模组和机架模组。本发明中的一次成型3面布线PVD镀膜机采用滚筒式真空腔体设计的PVD溅射系统中，基材通过夹具固定并随腔体做圆周运动，可在单次工艺周期内实现基材三个表面的同步溅射沉积，相较于传统单表面沉积模式，沉积效率大大提升。并且在滚筒式腔体内，靶材组件与离子源沿圆周方向呈固定阵列排布，当治具带动基材旋转时，离子源可对基材待镀膜的三个表面依次进行离子轰击清洗。
天眼查资料显示，江苏智芯达科技有限公司，成立于2024年，位于无锡市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5841.6645万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏智芯达科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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