北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体热处理设备的密封门机构及半导体热处理设备”的专利，公开号CN121497821A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提出了一种半导体热处理设备的密封门机构及半导体热处理设备，密封门机构包括：承载盘，用于挤压其与工艺腔室之间的密封件，以将工艺腔室的开口密封；支撑件；施压装置，连接在支撑件与承载盘之间，施压装置用于向承载盘施加压力，以使承载盘挤压密封件；压力调节组件，与施压装置连接，压力调节组件用于根据工艺腔室内的气压变化信息，调节施压装置提供的压力大小，以使承载盘对密封件的挤压力在预设范围内。本发明的密封门机构通过采用施压装置和压力调节组件，可以通过压力调节组件根据工艺腔室内气压的变化信息，主动调节施压装置提供的压力大小，使承载盘对密封件的挤压力在预设范围内，从而提高密封的可靠性和稳定性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1382次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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