北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“真空中原位晶圆温度测量方法和装置”的专利，公开号CN121511502A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，公开了一种改进的粒子束检查装置，并且更特别地公开了一种包括非接触式温度传感器的粒子束检查装置，该非接触式温度传感器用于准确地测量晶圆温度而没有污染风险。带电粒子束装置可以使用温度可调整校准垫来校准非接触式温度传感器，然后使用经校准的非接触式温度传感器以0.01‑0.1℃的准确度来确定样本的温度。带电粒子束装置还可以基于准确测量的样本温度来优化和调整热调节工位。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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