北京
国家知识产权局信息显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司申请一项名为“12英寸再生晶圆来料划伤深度光学三维形貌检测装置及方法”的专利，公开号CN121499506A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请涉及光学测量与半导体检测技术领域，公开了一种12英寸再生晶圆来料划伤深度光学三维形貌检测装置及方法，旨在解决现有技术在划伤深度量化测量、检测效率和大尺寸晶圆适配性方面的不足。该方法包括：将待测晶圆固定于承载台并启动真空吸附，通过定位边与缺口识别功能确定晶圆基准方位；控制运动平台带动共聚焦传感器沿光栅式路径对晶圆表面进行全面扫描；实时获取高度数据并传输至图像处理单元；对三维形貌数据进行预处理，构建宏观形貌基准面并提取残余形貌；应用Canny边缘检测算法自动识别划伤区域；计算划伤的局部最大深度和全局最大深度；生成检测报告并将结果上传至MES系统。该系统包括：承载台、光学三维形貌测量模块、运动控制模块和图像处理单元与控制软件。本申请通过采用上述技术方案，能够实现纳米级分辨率的三维形貌测量，提高检测效率，并确保测量结果的准确性与可靠性。
天眼查资料显示，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，成立于2019年，位于铜陵市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本123009.7159万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息170条，此外企业还拥有行政许可35个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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