北京
国家知识产权局信息显示，厦门韫茂科技有限公司申请一项名为“一种正面进料的PEALD镀膜系统”的专利，公开号CN121496366A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种正面进料的PEALD镀膜系统，涉及半导体设备技术领域。包括：工艺腔室组件、连接在所述工艺腔室组件上的等离子体组件、进气组件、真空组件，所述工艺腔室组件至少包括两个工艺腔室；两个所述工艺腔室的背面侧设置有等离子体通道以连接所述等离子体组件；两个所述工艺腔室的正面侧设置有进料开口，所述进料开口处设置有侧移门组件，所述侧移门组件配置为能通过横移运动以封闭或者开启两个所述工艺腔室；所述腔门主体内对称形成有分别用于连通两个所述工艺腔室的第一气道与第二气道，所述第一气道与第二气道连通至所述真空组件以同时对两个所述工艺腔室进行抽气。本方案能减少设备纵深体积，提高反应均匀性。
天眼查资料显示，厦门韫茂科技有限公司，成立于2018年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本627.726476万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门韫茂科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目106次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息116条，此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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