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荷兰专家ASML研究中国企业后,发现情况比预期糟糕

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半导体这行当,本来就是全球玩家你追我赶的战场,荷兰的ASML公司从上世纪80年代起步,靠着光刻机这门手艺,一步步爬到顶尖位置。光刻机说白了就是芯片厂里的核心,能把电路图案精确印到硅片上,决定了芯片多先进、多快。

ASML专攻极紫外光EUV那种高端货,能处理7纳米以下的制程,全球大厂像台积电、三星都得靠它吃饭。



中国企业起步晚点,从2010年后才大力投入,搞出中微半导体主攻刻蚀设备,北方华创则在薄膜沉积上发力。这些公司通过拉人才、买设备,渐渐在部分环节自给自足,65纳米到28纳米的工艺基本能兜住。

回想2018年,中国一家芯片厂向ASML订了台EUV光刻机,花了1.2亿美元,本来2019年交货,2020年就能上生产线用。那时候中国市场对ASML来说是金矿,营收占比将近15%。

订单定了,ASML车间忙活起来,但同年12月,德国供应商那边突然起火,生产线损毁,交货只好往后拖。明面上是意外,可后来爆出美国政府在背后施压,怕高端技术扩散影响格局。



美国前驻荷兰大使彼得·胡克斯特拉多次找荷兰官员聊,强调EUV太敏感,不能去某些地方。2019年,荷兰没续出口许可,订单黄了。这事开了头,2020年美国扩大禁令,高端半导体工具全卡住,中国只能用老款深紫外光DUV光刻机凑合。

禁令一出,ASML的中国生意虽没全断,但高端机型进不来。中国转头加大研发,设专项基金推本土替代。2023年,荷兰自己出规则,限部分DUV出口,中国市场占比从高峰29%掉到20%。



ASML夹在中间,一头是美国盟友的拉扯,一头是中国需求的拉力,整个产业链开始重塑。英伟达老板黄仁勋说过,不给产品,中国就自己造,就算开头糙点,用着用着就磨出来了。中国企业被逼着走自立路,投入翻倍,人才涌入,渐渐在刻蚀、沉积等领域站稳。

荷兰半导体观察者马克·海金克2025年3月在阿姆斯特丹国际半导体展上抛出这个话题,基于ASML内部调研,说实际情况比预想糟糕得多。



意思不是中国不行,而是差距具体数据一摊开,让ASML意识到竞争的紧迫。ASML没光靠报告猜,早前派团队去中国实地测,带上仪器直奔中芯国际、北方华创这些厂,跑数据看实效。

团队测了刻蚀设备,在28纳米制程下,中微的介质刻蚀机良率能到85%,但跑久了波动大,废片率跟着涨。产能方面,每月处理晶圆片数只有ASML同类设备的七成,成本自然高出一截。



北方华创的薄膜沉积机,厚度均匀性还行,纳米级控制,但能耗多15%,高温下腔体容易变形,连续运转稳定性差。月产能对比,ASML一台机轻松上千片,中国原型机顶多几百,这就卡住了规模化。



中国逆向DUV都费劲,最近有企业拆机坏了,还得找ASML修。这距离不是参数小差,而是系统集成和规模产出的硬伤。海金克在展会上直说,这让ASML看清门槛多高,中国追赶快是快,但短期摸不到边。

调研数据还显示,中国本土化率超80%,中微设备支持28纳米,出口订单涨,北方华创沉积机2024年卖百台,2025年翻倍到两百。整体覆盖率达50%,资源倾斜后端,形成闭环,进度超ASML模型预测。



美国从2019年限起,反而推了中国一把,2023年专项基金数百亿美元,人才集聚加速。海金克强调,逆向工程难度高,光刻机上万部件,拆错一个就废,但中国在子系统如光源稳定器上已有突破,整体集成虽落后,迭代速度让人警觉。



调研结果一出,ASML赶紧调策略,走供应链分散路。2024年起,在美国多设服务中心,雇本地人,存光学镜片、激光模块等备件,突发时快速响应。

台积电在美国建厂,ASML跟上支持,调试线。越南装配线满负荷,德国德累斯顿铺3纳米,柏林第三厂开工。平常各节点自跑,出事互接,稳住链条。



中国企业因2023年后DUV限,被逼本土全链,成本高,人手紧,但基金拉动,招聘海外专家,优化设备。2025年完成EUV原型测试,虽2030年商业化,但自立潜力显。

黄仁勋多次说,不供货,中国自造,迭代加速。ASML光源靠美国,联盟绑资本,但中国增长和本土崛起不能丢。荷兰媒体分析,公司进退难,2025财报中国营收20%。



长远看,中国成强劲对手,ASML需创新维持领先。禁令刺激自强,本土企业份额升,全球格局重塑。

ASML推“去风险化”,实则被动求生,根基陷矛盾:离不开全球市场,也脱不开跨国技术。EUV源依赖美国,联盟成员身份让它易受影响。中国曾贡近五分之一营收,DUV需求持续。

这事本质是技术博弈,中国投入大,追赶稳健。ASML调研虽指差距,但也承认进步超预期。产业链稳定需互惠,单边限只会推对手强。



荷兰政府在中美间摇摆,经济合作应公平。徐宏大使表态,政治限影响合作,大家得对等。中国企业转向自立,ASML市场压力增,本土竞争加剧。

整体看,半导体不是零和,合作才能推行业前。中国本土设备出口增,证明实力。ASML财报虽中国占比降,但总订单到2025年后断货,显示需求旺。技术门槛高,但中国资源倾斜,缩小距离是时间问题。全球玩家需重估格局,不是对抗,而是找平衡点。

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