北京
国家知识产权局信息显示，浙江创芯集成电路有限公司取得一项名为“调节机台长膜平坦度装置”的专利，授权公告号CN223892859U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，一种调节机台长膜平坦度装置，包括：反应腔体；喷淋头，用于向反应腔体内通入工艺气体；加热盘，用于承载并加热放入反应腔体内的晶圆；调节杆，调节杆沿第一方向延伸，调节杆一端与加热盘固定连接，调节杆的另一端贯穿反应腔体的侧壁并延伸至反应腔体的外部；调节板，调节板设置于反应腔体的外部，且调节板与调节杆固定连接；刻度微调装置，刻度微调装置分别与调节板和反应腔体固定连接，刻度微调装置用于调节加热盘的倾斜幅度。通过增设刻度微调装置实现加热盘的倾斜幅度调整，使得每次的调节具有刻度的数据支撑，便于后期分析晶圆膜生长平坦度分析，不存在因人而异的质量问题。而且维护机台快速稳定晶圆膜生长平坦度数值要求，增加产品生产量。
天眼查资料显示，浙江创芯集成电路有限公司，成立于2020年，位于杭州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本214766.6666万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目274次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息564条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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