埃特曼半导体申请外延片制备方法专利，提高了外延片的晶体质量

国家知识产权局信息显示，埃特曼半导体技术有限公司;埃特曼（厦门）光电科技有限公司;迪希埃（北京）半导体技术有限公司申请一项名为“外延片的制备方法和外延片”的专利，公开号CN121472985A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请实施例涉及一种外延片的制备方法和外延片，制备方法包括：提供第一金属氮化物层，第一金属氮化物层的材料组分包括第一金属原子；执行分子束外延生长工艺，在第一生长条件下通入第二金属源，第二金属原子被吸附至第一金属氮化物层上，形成一层第二金属单原子层；在第二生长条件下通入第二金属源，第二金属原子被吸附至第二金属单原子层上，再形成一层第二金属单原子层；保持第二生长条件并保持通入第二金属源，通入氮源，氮原子与各第二金属单原子层结合，形成第二金属氮化物层；其中，第一金属原子与第二金属原子不同，第一生长条件与第二生长条件不同。由此，提高了外延片的晶体质量。

天眼查资料显示，埃特曼半导体技术有限公司，成立于2020年，位于厦门市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本5199.4469万人民币。通过天眼查大数据分析，埃特曼半导体技术有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目11次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可9个。

埃特曼（厦门）光电科技有限公司，成立于2021年，位于厦门市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，埃特曼（厦门）光电科技有限公司参与招投标项目8次，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可7个。

迪希埃（北京）半导体技术有限公司，成立于2020年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，迪希埃（北京）半导体技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可2个。

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本文源自：市场资讯

作者：情报员