北京
国家知识产权局信息显示，宁波中车时代传感技术有限公司申请一项名为“一种MEMS传感器芯片的封装方法”的专利，公开号CN121470430A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种MEMS传感器芯片的封装方法，涉及芯片封装的技术领域，封装方法包括：S1、在上晶圆蚀刻出导气槽和上空腔，导气槽连通于上空腔，导气槽远离上空腔的一端延伸至MEMS传感器芯片的边界；S2、将上晶圆、中晶圆和下晶圆键合，其中，中晶圆设置于上晶圆和下晶圆之间，中晶圆设有叉指结构，下晶圆与中晶圆之间形成有与上空腔对应的下空腔，叉指结构设置于上空腔和下空腔之间；S3、沿MEMS传感器芯片的边界切割MEMS传感器芯片，导气槽与外界连通；S4、通过带真空功能的模具对MEMS传感器芯片真空注塑，塑料填充导气槽；其中，模具的真空度可调节。本发明能够适用于多种真空度的MEMS传感器芯片封装，降低产品封装成本，提升封装效率。
天眼查资料显示，宁波中车时代传感技术有限公司，成立于1992年，位于宁波市，是一家以从事铁路、船舶、航空航天和其他运输设备制造业为主的企业。企业注册资本29678.62万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波中车时代传感技术有限公司参与招投标项目2102次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息485条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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