北京
国家知识产权局信息显示，山东有研艾斯半导体材料有限公司取得一项名为“一种CVD用TRAY的清洗装置”的专利，授权公告号CN223879829U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种CVD用TRAY的清洗装置，该装置具备：整机支架，用于整机各个模块的连接；上料模块，作为TRAY清洗过程的上料装置；化学液模块，通过整机支架与上料模块连接；纯水模块，通过整机支架与化学液模块连接；干燥模块，通过整机支架与纯水模块连接；下料模块，作为TRAY清洗过程的下料装置，通过整机支架与干燥模块连接；传送装置，设置于上料模块、化学液清洗模块、纯水清洗模块、干燥模块、下料模块的前部，用于TRAY清洗过程中的TRAY清洗支架在各模块间的传送；TRAY清洗支架，用于放置所清洗的若干个TRAY。本实用新型可实现CVD用TRAY的自动化浸泡、清洗、干燥等，较传统的手动清洗方式提高了工作效率及清洗过程的稳定性，提高了操作过程的安全性。
天眼查资料显示，山东有研艾斯半导体材料有限公司，成立于2020年，位于德州市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本274180.16万人民币。通过天眼查大数据分析，山东有研艾斯半导体材料有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目427次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息36条，此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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