2023年夏天,荷兰那边出了新规定,说从9月1日起,高端的光刻机不能卖给中国了,具体指的是ASML的NXT:2000i和更高级的型号都不行,但像1980Di、1970i这样的中端设备,还有老款的干式DUV还能继续卖,这些机器虽然做不了5nm芯片,处理45nm以上的制程没问题,而且中国自己已经能造这类光刻机了,美国其实也知道,限制这些设备基本起不了作用。
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消息公布后,中国企业马上行动起来,6月30日政策发布,9月1日正式实施,中间只有两个月准备时间,大家忙着签合同、催发货,后来海关数据显示,2023年中国大陆进口的光刻机数量超过2022年全年,ASML对中国的销售额占比从14%上升到41%,
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中国成了它全球最大市场,到了8月底,华为突然推出Mate 60系列,其中搭载的芯片被外界推测是采用7纳米工艺制造的,用的不是EUV设备,而是DUV配合多重曝光技术,这让很多人意识到原来用DUV也能实现这样的制程水平。
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很多人都觉得,没有EUV机器就造不出先进芯片,美国人也这么想,他们认定多重图案化技术成本太高良率又差,中国人肯定搞不定,可中国企业一边买ASML的DUV光刻机,一边下单美国应用材料的薄膜沉积设备和泛林公司的刻蚀机,整条生产线都是用美国设备搭起来的,
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有业内人士透露国内企业手里囤积了有800多台光刻机,其中一半是国产机或DUV机型,结果到2023年底7纳米芯片真的做出来了,还装进手机里上市销售,技术封锁这堵墙就这么被绕过去了。
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到了2024年9月6日,荷兰又出招了,这次更厉害,他们把1980i和1970i也给禁了,而且只针对那些有FinFET生产线的工厂,规定从发布当天就开始执行,没给一点缓冲时间,很多订单直接作废,已经在路上运输的设备被拦下来退了回去,
美国在背后推了一把,想彻底堵死最后一条路,好在中国早有准备,之前抢购的那些DUV设备经过不断维护和改进工艺,已经可以独立支持量产,国家给了补贴,本土团队也有维修能力,让这些老设备一直能正常运转。
有意思的是,美国对技术的错误认知,美国原本想卡中国的脖子,结果却帮中国把设备都配齐了,应用材料和科磊这些公司赚得特别多,订单一个接一个,中国用他们的设备做出芯片后,又反过来逼他们继续供货,制裁越严格,买卖反而越红火,
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荷兰夹在中间最难受,政府要听美国的,企业又想赚钱,两边拉扯不清,ASML的高层私下抱怨过好几次,现在回头看,2023年抢下的那些光刻机,就像一场无声的预备战,没人喊口号,但每台机器都在默默运转。
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有些设备看着旧,可只要有人会用、敢改、愿意试,它就能干活,技术不是单靠买新机器堆出来的,有时候是靠一堆还能用的设备,一点一点磨出来,现在厂子里那些DUV,已经跑了三年多,零件换了几轮,软件打过补丁,连操作员都养成自己的习惯动作,它们没名字,不显眼,但确实撑起了一个新阶段。
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2026年初,行业里传出一个说法,中国晶圆厂的DUV产线平均利用率比某些用EUV的还高,这不是因为技术先进,而是因为没有退路,必须高效运转,只能把现有设备用到极致,
一台光刻机每天运行22小时,工程师们轮流监控参数,连清洗液的配方都调整了十几遍,这种土办法反而练出了扎实的本事。
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