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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于提高软X射线量测的准确度的方法和设备”的专利，公开号CN121464395A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种用于提高SXR量测的准确度的方法，包括：获得第一衍射光谱，所述第一衍射光谱包括多个周期性离散峰并且与已经利用第一源光谱照射的目标结构相关；获得第二衍射光谱，所述第二衍射光谱与已经利用第二源光谱照射的目标结构相关，所述第二源光谱与所述第一源光谱互补；基于所述第一源光谱和所述第一衍射光谱来确定所述目标结构的第一响应光谱；基于所述第二源光谱和所述第二衍射光谱来确定所述目标结构的第二响应光谱；将所述第一响应光谱与所述第二响应光谱组合以构建具有比所述第一响应光谱更少间隙的经改善的响应光谱；以及使用所述经改善的响应光谱确定所述目标结构的所关注的性质。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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