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柯尔微电子申请晶圆检测装置及检测方法专利,提升晶圆检测的自动化程度

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国家知识产权局信息显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请一项名为“一种晶圆检测装置及检测方法”的专利,公开号CN121443031A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明公开一种晶圆检测装置及方法,装置包括依次叠设的基座、减震组件和装置主体,装置主体含安装框架及其上的顶升、位移旋转、读码寻边、厚度量测组件;位移旋转组件包括Y轴运动机构与滑动设置于其上的回转机构,Y轴运动机构上设第一、第二工位,回转机构可在两工位间切换;顶升组件含第一工位的顶升驱动机构与接料盘,顶升驱动机构驱动接料盘沿Z轴升降及绕θ轴旋转;回转机构中心有供接料盘穿过的承载口,口内有承载晶圆的承载吸盘组;读码寻边、厚度量测组件分别相对设于第一、第二工位上下两侧。该装置集成晶圆寻边、读码、量测步骤,提升晶圆检测的自动化程度,提升检测效率和精度。

天眼查资料显示,柯尔微电子装备(厦门)有限公司,成立于2010年,位于厦门市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2352.941176万人民币。通过天眼查大数据分析,柯尔微电子装备(厦门)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息92条,此外企业还拥有行政许可7个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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