北京
国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司申请一项名为“PECVD设备”的专利，公开号CN121428510A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种PECVD设备，包括壳体、气源、上极板、下极板和掩膜板，所述壳体内部形成有反应腔，所述气源连接至壳体并向所述反应腔输送工艺气体，所述上极板设置于所述反应腔内，用于连接射频源，所述下极板设置于所述反应腔内，用于接地并支撑待反应的基板，所述掩膜板用于放置于基板的表面，所述掩膜板设置有用于在基板表面形成特定封装形状的挖孔。本发明的掩膜板能够在非反应区域制造物理屏蔽，使工艺气体仅在挖孔区域内进行反应沉积，在其他区域则不会发生反应。因此，在基板表面能够形成特定形状的封装区域，而无需再经历涂光刻胶‑光刻这一工序，通过减少操作工序减少了工艺时间，提高了良率和生产效率。
天眼查资料显示，江苏博涛智能热工股份有限公司，成立于2010年，位于苏州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本10613.7931万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目157次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息273条，此外企业还拥有行政许可29个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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