北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料以色列公司申请一项名为“影像配方的自动创建”的专利，公开号CN121413044A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，提供了一种自动优化电子束工具影像配方的系统和方法。所述方法包括获取半导体关注样本(SOI)的材料和结构特性；执行主束照射电子与所述SOI之间互动的第一模拟，所述模拟在各种主束配置下进行，以获取电子逃逸分布的极角和逃逸能量的映射；根据这些映射执行第二模拟，用以收集和检测不同成像配置下的逃逸电子，以获取在每个成像配置下对于所述SOI上关注测量(MOI)的信号剖面；并为所述电子束工具创建影像配方，包括配置以达成所述信号剖面中所述MOI最佳对比度的主束参数和工具影像参数。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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