北京
国家知识产权局信息显示，弈芯科技（杭州）有限公司申请一项名为“一种生成曲线化掩模图形的方法及装置”的专利，公开号CN121411066A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种生成曲线化掩模图形的方法及装置，每次边移动处理后的曼哈顿版图均对应唯一的等效曲线版图，在优化迭代过程中，该等效曲线版图用于替代曼哈顿版图进行光刻成像仿真。当优化收敛后，是对当前分段边移动处理后的曼哈顿版图执行曲线化处理，生成最终的曲线化掩模图形，作为优化后的OPC结果。本申请实施例中，在优化迭代过程中始终以曼哈顿图形为优化对象，但在仿真阶段采用等效曲线版图作为输入。通过这种方式，避免了直接修改曲线版图带来的控制难度，实现了在保持传统OPC优化稳定性的同时，稳定、高效地生成曲线化掩模图形，获得了满足EPE约束的曲线化掩模结果，提升了晶圆图形转移精度和芯片制造的成品率。
天眼查资料显示，弈芯科技（杭州）有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本357.14611万人民币。通过天眼查大数据分析，弈芯科技（杭州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息20条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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