北京
国家知识产权局信息显示，重庆中科渝芯电子有限公司申请一项名为“一种减少显影气泡缺陷的静态显影方法”的专利，公开号CN121411089A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明公开一种减少气泡缺陷的静态显影方法，包括以下步骤：1）对已完成涂胶、曝光晶圆进行预处理；2）采用多组喷嘴组合的喷头在距离晶圆较近的位置以稳定而缓慢的方式喷涂，以此在晶圆上形成均匀、平整的显影液膜；3）喷显影液完成后，晶圆静止一段时间+低速旋转一段时间，重复数次完成显影；4）对所述晶圆进行二段式冲处理，得到完成显影的晶圆。5）对所述晶圆旋转甩干。本发明通过对将显影的化学反应过程和机械旋转过程分离来实现稳定、可控的显影过程，显著减少由液体飞溅、溶解产物残留带来的各类缺陷。
天眼查资料显示，重庆中科渝芯电子有限公司，成立于2010年，位于重庆市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本134615万人民币。通过天眼查大数据分析，重庆中科渝芯电子有限公司参与招投标项目82次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息119条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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