国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“前体供应容器”的专利,公开号CN121407051A,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,公开了一种前体供应容器。前体供应容器包括顶壁、底壁和侧壁;配置和布置成加热顶壁的顶壁加热器、配置和布置成加热底壁的底壁加热器以及配置和布置成加热侧壁的侧壁加热器。加热器中的每个是独立可控的。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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