半导体“开门红” 射频电源龙头科创板上市

21世纪经济报道记者 吴佳楠 深圳报道

1月28日，恒运昌真空技术股份有限公司（“N恒运昌”，688785.SH）在科创板成功上市。

这是2026年第一家科创板IPO上市企业，拿下深圳市2026年境内上市企业“开门红”，也是深圳宝安区2026年宝首家上市企业。

恒运昌发行价为92.18元/股，发行市盈率为48.39倍，开盘价为310元/股，涨幅达236%，盘中其股价最高上涨323%至390元/股，截至发稿，市值为232亿元。

公司成立于2013年3月，是国产等离子体射频电源系统行业龙头企业、国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业。根据弗若斯特沙利文统计，恒运昌在国产等离子体射频电源系统厂商中的市场份额位列第一。

恒运昌表示，公司本次募集资金将投资于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。

如果把芯片制造比喻成版画艺术品的高科技复刻，那么产生及控制等离子体的等离子体射频电源系统就是这场高科技复刻的“指挥家”。

等离子体射频电源系统通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等。

等离子体射频电源系统在纳米的尺寸级别上精准控制等离子体的刻蚀过程，这样先进制程的高精度要求，使得制造过程中的每一步都如同在刀尖上跳舞，稍有不慎便可能导致整个芯片的报废，从硅片的处理到薄膜的沉积、刻蚀，每一个环节都需要极高的精度控制。

如此严苛的要求，使得等离子体射频电源系统成为半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。

恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。

持续加码研发让技术优势不断巩固。截至2024年底，公司研发人员占比超40%，2022至2024年研发投入连续增长，累计投入近1.14亿元，占同期累计营收的11.11%，复合年增长率达60.19%。

目前，恒运昌已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域是首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。

截至2025年6月底，恒运昌与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。

2022年至2025年6月底，该公司已稳定批量供应拓荆科技PECVD设备，是拓荆科技2024年度第一大等离子体射频电源系统供应商、前十大零部件供应商，2024年拓荆科技已成为公司第一大客户、销售收入占比超六成，此外，拓荆科技还持有公司3.09%股份。恒运昌在2024年对中微公司、北方华创、微导纳米已实现收入4288.56万元、2813.65万元、2306.19万元，相比2023年分别翻7倍、25倍、3倍，同比大幅增长。

2025年上半年，该公司还进一步拓展新客户，实现对屹唐股份、思锐智能、无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破。

2022至2024年，公司营收从1.58亿元增加至5.41亿元，净利润从2639万元增长至1.43亿元，实现规模与效益双增长。

恒运昌表示，公司自研产品中的等离子体射频电源系统收入金额持续增加，主要原因是伴随中国大陆半导体产业的快速发展以及半导体国产化浪潮，公司作为关键半导体设备的核心零部件供应商，通过持续加大研发、加强与客户合作，自研产品的营业收入大幅增加。同时，公司围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，引进的真空泵等产品的收入也保持稳定增长。

这家位于深圳的“隐形冠军”，用十二年时间完成了从打破海外垄断到引领国产替代的跨越，恰恰是中国半导体产业实现自主创新的缩影。

十二年前，国内等离子体射频电源系统市场被海外巨头牢牢掌控，恒运昌创始人乐卫平带领团队在狭小车间内开启攻关之路，如今已成长为手握108项授权发明专利、能批量交付14纳米先进制程配套产品的行业标杆。

半导体设备处于半导体产业链的上游环节，是半导体产业的基石，是提升中国半导体产业链供应链韧性的关键。据SEMI统计数据显示，2024年全球半导体设备市场规模达1171亿美元，2012至2024年间增长了802亿美元，年复合增长率达到10.10%，保持高速增长趋势。SEMI预计，2025年将增长至1255亿美元，2026年有望增长至1381亿美元，持续刷新历史新高。

目前全球半导体设备行业集中度高，由少数寡头垄断。具体来看，在薄膜沉积设备方面，全球市场基本由应用材料（AMAT）、泛林集团（LAM）、东京电子（TEL）、先晶半导体（ASM）等少数设备商垄断；在刻蚀设备方面，全球市场主要企业由泛林集团（LAM）、东京电子（TEL）和应用材料（AMAT）等少数设备商垄断。

“中国大陆有全球最大的半导体消费市场和半导体设备销售市场，而半导体设备国产率较低，意味着中国大陆半导体设备行业存在大量国产替代空间。”恒运昌表示。

根据SEMI统计数据显示，2020年中国大陆凭借187亿美元销售金额首次成为全球半导体设备第一大市场，并开始连续多年保持第一。2012至2024年，中国大陆半导体设备销售额增长了471亿美元，年复合增长率高达28.27%，远超同期全球增幅。

从等离子体射频电源系统这一细分的半导体制造工艺看，等离子体射频电源系统是中国半导体设备“卡脖子”的关键零部件之一，主要由美系两大巨头MKS和AE主导。

虽然中国大陆等离子体射频电源系统行业的起步相对较晚，但近年来展现出了快速的发展势头。根据弗若斯特沙利文统计，未来中国大陆等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2025-2029年复合增长率预计为12.3%。

华金证券研报显示，等离子体射频电源系统是我国半导体设备“卡脖子”的关键零部件之一，预期随着国产化趋势的加速推进，国产等离子体射频电源系统发展前景广阔。

据了解，恒运昌以实控人乐卫平先生为首的核心团队成员大多曾就职于AE等业内龙头厂商。例如研发总监林伟群曾任AE（深圳）高级工程师、AE（上海）深圳分公司高级工程师，职工董事、软件研发经理姚志毅曾任AE（深圳）工程师、AE（上海）深圳分公司工程师。

“公司计划通过本次发行上市，进一步加大资金投入和研发投入，继续推动半导体设备核心零部件的国产化进程，助力提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平。”恒运昌表示。