国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“一种半导体设备的歧管冷却装置”的专利,授权公告号CN223840769U,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体设备的歧管冷却装置,包括:歧管本体,呈中空设置;冷却结构,设于所述歧管本体,所述冷却结构与所述歧管本体之间的空腔形成冷却腔,所述冷却腔的内侧壁具有多个弧形部,以在所述冷却腔的内部形成凸起部和/或凹穴部;其中,所述冷却腔内通入所述冷却介质,以调节所述歧管本体至合适的温度。本发明能够改善由于歧管本体温度高而导致的前驱体受热分解,影响晶圆片加工的问题。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目190次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息958条,此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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