薄膜硅元件制造工艺中,掌握好硅薄膜元件的成膜质量的核心关键在于精准掌握好制造温度,主要是包括基板预热温度是否均匀、薄膜沉积的反应温度是否稳定等。在这项精密的制造工艺中,温度异常极有可能引发薄膜开裂、厚度不均、内部缺陷甚至产品直接报废。
使用红外热像仪,可以快速且精细化监测到薄膜沉积过程中的温度变化。首先是基板预热的温度,这是构筑品质的基础。红外热像仪可实时呈现整个基板的温度分布热像图,基板温度均匀性可以从源头避免因预热不均导致的薄膜厚度差异、附着力不足等问题,为后续成膜奠定坚实基础。
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在薄膜沉积阶段,热像仪的作用同样关键。在这个过程中,面对极其微小的区域,热像仪可以搭载显微镜头,直观探测到薄膜的生成速率与微观结构。这是传统的点温仪以及接触式测温仪器无法比拟的优势。热像仪可以实现整片区域同步测温,能够及时发现异常热点或冷点,精准把控反应进程。在一些隐藏区域,热像仪同样能够以超高的热灵敏度精准测量,哪怕是0.1℃的温差也不会放过。
格物优信红外热像仪,热灵敏度可高达0.05℃。不仅可以直观监测到基板温度与成膜过程的温度,还可以自定义阈值,根据生产经验,可设置温度报警阈值,一旦检测到温度超出标准范围,立即发出预警信号,让操作人员在问题扩大前快速响应、及时处理,有效避免批量性质量事故的发生,就像为生产线配备了“专属预警员”,提前化解“温度危机”。
降本增效是生产企业必须面临的考验,格物优信热像仪不仅仅在于测温精准,更能够提前帮助生产过程规避批量风险,这种以防为主的测温,才是企业生产真正需要的神器。
格物优信热像仪的核心优势:
1.全辐射温度流热像图输出:点、线、区域热像图直观输出;
2.温度追踪:支持高低温追踪功能:自动捕捉最高/最低温度点,提早发现隐患;
3.预警功能:分为超温报警、高温区间报警、低温报警、温度区间报警、温度区间外报警5种类型,做到提早预警,提早处理。
4.温度数据分析与处理:监测数据、异常数据和报警信息可存储,可离线查看。
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