国家知识产权局信息显示,派镀科技(深圳)有限公司申请一项名为“一种半导体器件加工夹持工装”的专利,公开号CN121398536A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明涉及夹持工装技术领域,尤其是一种半导体器件加工夹持工装,包括工作台和圆台,所述圆台设置在工作台圆心位置处,所述圆台上方用于放置晶圆片,还包括滑动板,所述滑动板设有多个且呈环状同步滑动设置在工作台上方,所述滑动板内端设与圆台上表面共面的底托,夹持组件,所述夹持组件滑动设置在滑动板上方,所述夹持组件包括设置在轴架内的固定轴;本发明通过夹持组件和负压组件的配合,在不同规格晶圆夹持时兼顾定位一致性与低损伤,同时托环以齐平回落且可升降的方式布置于装配槽内,既可在支撑跨度增大时提供额外环形承托与贴合,又避免与径向运动部件干涉,从而提高薄片姿态稳定性、吸附稳定性与整体可靠性并降低污染与维护负担。
天眼查资料显示,派镀科技(深圳)有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本111.7021万人民币。通过天眼查大数据分析,派镀科技(深圳)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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