北京
国家知识产权局信息显示，魅杰半导体设备（无锡）有限公司申请一项名为“一种兼具高适应性和高效的聚焦系统及其工作方法”的专利，公开号CN121386127A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明涉及一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，包括：光路系统，其用于对晶圆上的待测对象进行聚焦并检测；Z轴平台，其用于承载光路系统；其中，光路系统上集成有压电陶瓷、光路传感器、步进执行机构和物镜可切换装置，光路传感器与步进执行机构形成第一闭环系统，并且第一闭环系统用于实现粗调聚焦，光路传感器和压电陶瓷形成第二闭环系统，并且第二闭环系统用于实现精确聚焦，物镜可切换装置依据待测对象的大小通过控制系统的信号实现不同倍数的物镜移动到主光路系统的光轴上。本发明提供了一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，通过优化机械结构和采用高效的控制系统，实现了宽范围负载、负载承受力可调节、高响应多功能聚焦系统。
天眼查资料显示，魅杰半导体设备（无锡）有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本942.9891万人民币。通过天眼查大数据分析，魅杰半导体设备（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息125条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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