北京
国家知识产权局信息显示，苏州佳智彩光电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆明场照明与成像系统、晶圆缺陷检测设备及检测方法”的专利，公开号CN121384943A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体检测技术领域，尤其是指一种晶圆明场照明与成像系统、晶圆缺陷检测设备及检测方法，所述系统包括：照明模块、合束模块、物镜模块及采集成像模块；其中，所述照明模块生成适配晶圆检测视场的照明光束；所述合束模块通过独立工作的反射区域与透过区域，实现照明光路与采集光路的无干扰分离传输；所述物镜模块将反射区域折转后的光束会聚至晶圆表面，且控制光束仅在入瞳边缘形成照明实现离轴照明；同时，还将晶圆表面的反射光束准直后传输至透过区域；所述采集成像模块接收平行光束，将光信号转换为电信号，生成晶圆表面图像。本发明有效地解决了传统明场检测系统能量损耗高、成本高、检测速率低及分辨率不足的问题。
天眼查资料显示，苏州佳智彩光电科技有限公司，成立于2017年，位于苏州市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1250万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州佳智彩光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目124次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息232条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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