Phytron VSS 系列步进电机在扫描电子显微镜中的应用

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称 SEM）利用高能电子束逐点扫描样品表面，并收集二次电子、背散射电子等多种信号进行成像。与传统光学显微镜相比，SEM 具有以下显著特点：

高分辨率：可达 1–2 nm（取决于机型与电子源）。

大景深：能够呈现更立体的表面形貌。

多功能分析：形貌、成分、晶体取向、局部缺陷等多信息同步获取。

样品适应性广：导电或经导电处理的固体样品均可直接观测。

随着半导体工艺、微纳加工、先进材料等领域对高分辨率检测的需求日益增长，电池、电催化剂、燃料电池对结构与成分的精细表征，以及细胞、微生物、纳米药物等生物样品的研究不断增加，SEM 的应用范围和市场需求正由科研拓展至产业，由静态表征迈向多模态、原位检测。

在这一趋势下，Phytron VSS 真空步进电机被广泛应用于 SEM 的核心运动与定位单元，包括：样品台（Sample Stage）多轴驱动，EDS（能量色散 X 射线谱）探头定位，背散射探测器或光学探头收放与角度调整

由于 SEM 对驱动系统要求极高，步进电机需具备以下能力：适应高真空环境，高精度定位，支持高达 300,000 脉冲/秒驱动信号，高可重复性、低速大力矩，保证稳定无振动的微小位移

Phytron 自 1984 年起便推出首款真空环境专用电机，凭借数十年的经验与对性能的持续追求，已成为真空步进电机的重要供应商。VSS 系列两相混合式步进电机完全满足 SEM 应用需求：

可在 10⁻¹¹ hPa 的真空环境下工作

保持扭矩覆盖 3.4 mNm 至 13 Nm

微步进模式下步距分辨率可达 1/512，并可配合编码器实现精准定位

独特磁路设计使电机在保持位置时无抖动效应，尤其适合探头及探测器定位

此外，Phytron 还可提供：VGPL 行星/谐波传动齿轮；KTC/Pt100 热传感器；编码器与双轴选项，以满足多样化和定制化需求。

北京汉达森为客户提供涵盖极端环境真空电机、标准工业步进电机、集成式步进电机、直流减速电机、防爆电机及振动电机等在内的自动化解决方案，欢迎垂询。