国家知识产权局信息显示,苏州盛拓半导体科技有限公司取得一项名为“一种气浮结构”的专利,授权公告号CN223829814U,申请日期为2025年2月。
专利摘要显示,本实用新型涉及技术领域,具体涉及一种气浮结构,包括:检测平台,用于吸附晶圆;支撑台,用于支撑检测平台;悬浮组件,固定在支撑台上,悬浮组件包括浮动部和平衡部,多个浮动部分布在支撑台上,当向浮动部通气时,浮动部对检测平台产生悬浮力,使检测平台悬浮在支撑台的上方,多个平衡部位于检测平台的周侧,当向平衡部通气时,平衡部对检测平台产生沿检测平台径向的推力,使检测平台处于相对静止状态,本实用新型中,通过向浮动部和平衡部通气使检测平台悬浮在支撑台上方,并与周侧无接触,实现了非接触式的支撑减少了检测平台与支撑台之间的摩擦和振动,从而显著提高了晶圆检测的精度。
天眼查资料显示,苏州盛拓半导体科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本285.3519万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州盛拓半导体科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息64条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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