国家知识产权局信息显示,宸微设备科技(苏州)有限公司申请一项名为“金属钼膜的选择性沉积方法、沉积设备”的专利,公开号CN121362956A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,一种金属钼膜的选择性沉积方法、沉积设备,方法包括:处理件具有暴露的活性表面和惰性表面,且活性表面和惰性表面之间具有沉积选择比;将处理件置于反应腔室内,进行多次沉积处理步骤,沉积处理步骤包括:载气携带不含氧元素的卤化钼前驱体进入反应腔室,与活性表面发生吸附;卤化钼前驱体与活性表面发生吸附之后,对处理件进行第一吹扫处理;进行第一吹扫处理之后,对反应腔室通入还原性共反应物,将活性表面吸附的卤化钼前驱体还原为金属钼层;还原为金属钼层之后,对反应腔室和处理件进行第二吹扫处理;进行多次沉积处理步骤之后,将多次沉积处理步骤形成的多层金属钼层作为金属钼膜。提高金属钼膜的电导率和形成质量。
天眼查资料显示,宸微设备科技(苏州)有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析,宸微设备科技(苏州)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息77条,此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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