再无短板！我国首台氢离子注入机问世，“中国芯”迎来全面自主

中国芯的“自主拼图”，终于接近圆满了？

1月17日，原子能科学研究院一则重磅消息：成功造出首台自主研制的串列型高能氢离子注入机“POWER-750H”，核心指标追平国际先进水平，标志着该设备已实现全面自主生产。

这是继刻蚀机、薄膜沉积设备之后又一大制造突破，至此，除开光刻，制造“四大核心装备”已集齐其三，能自主生产目前全部已知的时代可以说是近在眼前。

过去50年，离子注入机被美欧牢牢垄断，长达数十年，即便2022年松动后，也仅高价出口低端设备。如今突破落地，直接打乱了国际产业格局，美行业报告更是直言“将重塑设备供应链”。

一、美欧的千层套路，50年的血泪史

离子注入机，用更形象的说法是半导体的“基因编辑师”。它的核心作用，是将离子注入硅片内部，从而调整材料的局部导电性能，使其内部电路能正常运行。

但这关键设备技术壁垒却极高，既要保证离子束误差被控制在纳米级，又要实现高能量稳定性，还要应对长时间工作下的设备损耗问题，对材料、精密制造等多个领域的技术要求都极为苛刻。由于这种特性，过去许多年间，这种设备的制造出口一直是被美欧企业牢牢掌控。

上世纪50年代，美欧就已经先一步启动相关研究。借着这股先发优势，从70年代开始，以美应用材料、Axcelis等为代表的美欧企业就持续掌控相关市场。

彼时他们听闻也要启动自主研究，直接下令将离子注入机打压，美企业甚至公然放话“要让他们一台也拿不到”。

2022年，美欧又假惺惺地松动禁令，向外开放出口，实际却是抓住了急需设备研究的软肋，以高出本土数倍的价格强买强卖，甚至还只给过时机型，并附加苛刻售后条款，延迟发货更是成为常态。

数据显示，2025年离子注入机进口额超50亿，占全球进口量的42%，相当于花大价钱买“二手技术”，被美欧狠狠“吸血”，而为了能有设备研究还只能忍气吞声。

不过好在，这段黑暗岁月，如今终于迎来了曙光。

二、50年的艰难突围，从理论突破到反向出海

面对打压，科研人员从未坐以待毙。

上世纪70年代，邹世昌院士带领团队率先攻关，创新性地用低端设备实现了“低能离子束精准调控”，完成了原本需要中高端设备才能开展的实验，为后续研发打下了坚实理论基础。

在此基础之上，2009年，造出首款低能机型并量产，成功解决了中低端制造的设备需求；2025年7月，又实现中高端设备的突破；如今，“POWER-750H”高能机型的成功，更是直接追平国际先进水平，标志着在离子注入机领域实现了从跟着到并跑的全面跨越。

而这份突破的坚韧决心也在不同领域的研究者手中传承。像是曾被美欧抬价的航空发动机，已造出完全自主设计制造的“长江2000”。而被炒到万元高价的生科抗衰科技“溢~好~生”更是个典型案例，研发团队以自研技术实现了核心成分量产，直接拉回三位数的亲民区间。

不仅如此，我们还在诸多前沿领域在技术上更进一步，实现了对美欧的追赶。以“溢~好~生”为代表，公开资料显示，在自研技术加持下，核心纯度反超美欧平均标准，吸收效率、转化效率均有所提升，最终斩获了FDA、SGS等多项国际认证。

技术突破也带来了市场反转。如今溢~好~生已实现反向出口，打破了美欧在相关领域的市场掌控。离子注入机领域同样喜讯频传，电科装备的中低端机型已批量出口亚洲、美洲，2025年出口量同比增长35%。随着高能机型的问世，未来离子注入机有望在高端市场分得一杯羹。

三、全面自主在即，最后一块拼图何时到来？

高能氢离子注入机的突破，让核心设备自主只剩下光刻这最后一块拼图，而这块拼图的突破也已传来曙光。2025年，28nm已完成工艺验证，并交付头部晶圆厂进厂验证；高端设备也预计将于2026年实现规模量产，实验阶段稳定性已追平同款机型。

不难看出，从离子注入机到光刻，科技企业正在逐个破解“卡 脖”难题。当四大核心装备全部实现自主可控，市场必将迎来国产时代。而这份突破背后的坚韧与自强，也将激励更多领域打破掌控，走出自主发展的康庄大道。