在材料科学、工业制造与失效分析领域,研究者常常面临一个现实困境:许多关键部件或样品体积庞大、重量惊人,或是形状不规则,无法或不便进行破坏性切割以适配常规扫描电镜的样品仓。日立高新SU3800/SU3900扫描电子显微镜,正是为突破这一限制而生。作为综合型落地式钨灯丝电镜,它们在提供高质量成像与便捷操作的同时,其标志性的超大样品仓与强大的低真空成像能力,使得直接观察大型、重型乃至非导电原始样品成为可能,将电镜的应用范围扩展至更广阔的工业现场与研发场景。
包容万象:超大样品仓解锁直接观察可能
SU3800/SU3900系列最显著的特征之一是其配备的多功能超大样品仓。其中,SU3900型号尤其突出,能够在不拆卸标准样品台的情况下,容纳直径最大300毫米、高度130毫米的大型样品。这意味着汽车发动机部件、大型机械零件、航空航天复合材料构件等,无需经过破坏性制样,即可直接放入电镜进行多角度的表面观察。
这种能力对于失效分析、焊接质量评估、涂层完整性检查等应用具有革命性意义。研究人员可以直接在缺陷或感兴趣的区域进行定位分析,避免了因切割可能导致的二次损伤或关键信息的丢失。同时,其独特的样品更换辅助操作步骤,也最大程度地避免了因人为误操作导致的样品污染或损坏,保障了大型贵重样品的安全。
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清晰洞察:高质量成像与低真空模式的威力
能够放入大样品仅是第一步,获得高质量的图像信息才是核心。SU3800/SU3900系列通过全自动束流调整与可优化的发射束流功能,即使在较低的加速电压下也能获得足够亮度的高信噪比图像,兼顾了高分辨观察与样品表面细节的呈现。其多探头成像系统,包括二次电子探测器、高灵敏度背散射电子探测器等,可以满足从形貌、成分到晶体取向等多种信息的获取需求。
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更重要的是其卓越的低真空成像能力。系统可在6-650Pa的扩展压力范围内工作,高、低真空模式可实现一键切换,无需更换部件。配合高灵敏度低真空探测器,可直接对非导电样品(如塑料、陶瓷、生物样品等)进行观察,无需进行耗时且可能改变表面特性的导电镀膜处理,大大简化了工作流程并保持了样品的原始状态。
智能导航:SEM MAP赋能大视野观察与定位
当样品尺寸巨大时,如何在宏观尺度上快速定位到微观的感兴趣区域,是另一个挑战。SU3800/SU3900搭载的SEM MAP相机导航系统为此提供了优雅的解决方案。该系统通过图像拼接功能,可以生成直径达130mm(SU3800)或200mm(SU3900)的样品全景光学导航图。
用户可以在这张全景“地图”上直观地浏览样品全貌,并直接点击目标位置,系统便会自动驱动样品台精准抵达。这彻底改变了在大样品上“盲人摸象”般寻找观察点的传统方式,使得即使面对如半导体晶圆、大型板材等样品,视野搜寻也变得异常直观和高效。
日立SU3800/SU3900扫描电子显微镜,凭借其突破尺寸限制的超大样品仓、不妥协成像质量的低真空观察能力、以及应对大样品的智能全景导航技术,成功将高端扫描电镜的分析能力从标准的实验室样品延伸至真实的工业部件与大型材料。它不仅是微观分析的仪器,更是连接宏观产品与微观结构、服务先进制造与工程研发的关键桥梁
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