国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“一种晶圆清洗系统和方法”的专利,公开号CN121358206A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本公开提供了一种晶圆清洗系统和方法,系统包括清洗液供给装置、兆声波换能器、传感装置以及控制装置,其中,清洗液供给装置用于向晶圆的表面施加清洗液;兆声波换能器被配置为在清洗液中产生兆声波场;传感装置被配置为实时监测用于表征所述兆声波换能器到所述清洗液的能量传输效率的声学特性;控制装置与传感装置和兆声波换能器通信连接,其中,控制装置被配置为响应于传感装置监测到的声学特性,动态调整兆声波换能器的至少一个操作参数,以优化能量传输效率。
天眼查资料显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司,成立于2016年,位于西安市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目6次,专利信息1493条,此外企业还拥有行政许可24个。
西安欣芯材料科技有限公司,成立于2022年,位于西安市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析,西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目166次,专利信息150条,此外企业还拥有行政许可23个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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