国家知识产权局信息显示,盛吉盛精密装备(上海)有限公司申请一项名为“一种多功能晶圆检测设备”的专利,公开号CN121358256A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种多功能晶圆检测设备,该设备包括边缘检测模组、机器人、两套并行设置的宏观检测单元以及微观检组件。机器人设于边缘检测模组侧方以转移晶圆。每套宏观检测单元均包含中转机构、旋转转移晶圆机构、外部夹持机构、内部夹持机构和拍照模组。其中,中转机构用于接收来自机器人的晶圆;旋转转移晶圆机构工作范围覆盖中转机构、外部夹持机构和内部夹持机构及微观检组件,负责在其间高效转移晶圆;相邻设置的外部夹持机构与内部夹持机构可进行晶圆交接;拍照模组则对由内部夹持机构固定的晶圆进行拍摄。本发明通过优化布局与自动化流转,实现了晶圆边缘检测、宏观检测与微观检测的高效集成与连续进行,显著提升了检测效率和自动化水平。
天眼查资料显示,盛吉盛精密装备(上海)有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,盛吉盛精密装备(上海)有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息14条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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