广东
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案例：半导体行业VOCs废气纳米催化处理
项目背景
某知名半导体制造企业位于长三角地区，其晶圆生产线在光刻、蚀刻等工序中产生大量挥发性有机物（VOCs）废气。传统活性炭吸附法存在饱和快、二次污染等问题，企业迫切需要一种高效、低能耗的废气处理方案。
废气成分及来源
主要污染物为异丙醇、丙酮、二甲苯等VOCs，浓度范围200-800mg/m³，废气风量20000m³/h，温度25-35℃。废气来源于清洗、光刻和去胶工序，具有成分复杂、浓度波动大的特点。
处理工艺流程
预处理阶段
：废气经旋风除尘和温度调节后进入系统。
纳米催化氧化
：采用TiO₂/石墨烯复合纳米材料作为催化剂，在紫外光激发下产生强氧化性自由基，将VOCs分解为CO₂和H₂O。
深度净化
：未完全分解的小分子通过纳米多孔陶瓷纤维滤层进一步吸附降解。
在线监测
：配备PID检测仪实时监控排放浓度。
最终效果
经6个月连续运行监测，VOCs去除效率达98.2%，排放浓度稳定低于20mg/m³，远低于国家排放标准（120mg/m³）。系统能耗比传统RTO降低40%，催化剂使用寿命达3年以上，无二次污染产生。
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