北京
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“用于臭氧气体输送系统的预处理方法”的专利，公开号CN121320912A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请提供了一种用于臭氧气体输送系统的预处理方法，包括以下步骤：a）对臭氧气体输送系统进行惰性气体吹扫处理；b）对步骤a）处理后的臭氧气体输送系统进行多级臭氧气体吹扫处理；所述多级臭氧气体吹扫处理中臭氧气体的浓度逐级增加。本申请首先采用惰性气体对臭氧气体输送系统进行吹扫处理，去除系统中残留的水分、氧气及微颗粒杂质，然后采用臭氧气体分阶段浓度梯度吹扫，逐步钝化管壁内表面，减少氧化反应剧烈程度，控制颗粒释放，从而减少臭氧气体输送系统的颗粒释放、水分和氧残留、颗粒污染、腐蚀性反应、初始稳定性差及通流不连续等问题，提升臭氧输送系统的洁净水平和工艺可靠性，满足高端半导体制造的严格要求。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次，财产线索方面有商标信息87条，专利信息584条，此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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