国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN121335109A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请涉及一种半导体器件及其制造方法,包括:提供衬底,衬底上形成有栅介质层;于栅介质层上依次形成高阻部件和第一掩膜层,第一掩膜层覆盖高阻部件和栅介质层,且第一掩膜层内形成有暴露部分高阻部件的第一开口;基于第一掩膜层刻蚀高阻部件及部分栅介质层,以形成贯穿高阻部件并延伸至栅介质层内的凹槽;进行外延生长工艺,使外延生长后的高阻部件填满凹槽中高于栅介质层的部分,并于凹槽中位于栅介质层内的部分形成气隙;形成至少覆盖高阻部件的保护层,并进行离子注入工艺以形成高阻结构,高阻结构包括气隙和经过离子注入的高阻部件;去除保护层。本申请降低了高阻部件和衬底间产生寄生PN结或电容的概率,提高了半导体器件的性能。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1569条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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