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德睿科仪取得VUV平行光源光刻机设备限位机构专利,电路板在曝光时曝光程度好

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国家知识产权局信息显示,苏州德睿科仪仪器设备有限公司取得一项名为“一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构”的专利,授权公告号CN223808630U,申请日期为2025年4月。

专利摘要显示,本实用新型提出一种VUV平行光源光刻机设备的限位机构,包括基座,基座顶端一侧连接设有安装座,安装座的顶端连接设有光照装置,基座顶端还设有第一移动机构,第一移动机构顶端连接设有承载座,承载座的顶端连接设有承载台,承载台的顶部中心处连接设有吸附平台,承载台上设有限位机构,限位机构包括真空泵、多管接口、真空管,承载台的下部四周侧面处设有第一通孔,真空管与第一通孔连接,承载台的顶端中心处设有开口向上的凹槽,吸附平台与凹槽卡接,吸附平台的顶面设有开口向上的放置槽,放置槽的底部设有第二通孔,放置槽内连接设有微孔陶瓷板,通过设有限位机构电路板不会晃动,位置不发生偏移,进而使得电路板在曝光时,曝光程度好。

天眼查资料显示,苏州德睿科仪仪器设备有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州德睿科仪仪器设备有限公司参与招投标项目16次,专利信息24条,此外企业还拥有行政许可5个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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