国家知识产权局信息显示,江苏师范大学;江苏天晶智能装备有限公司申请一项名为“一种悬垂动态网络多线切割装置及方法”的专利,公开号CN121316124A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明提供了一种悬垂动态网络多线切割装置及方法,旨在解决传统多线切割在超硬脆材料加工中存在的切割效率低、材料易翘曲、成品收集难的问题。该装置采用X、Y两垂直方向的双层罗拉结构,X向罗拉在外层,Y向罗拉在内层,两层罗拉间预留空隙;X、Y向金刚石线亦保留空隙,且空隙处设置喷嘴降温装置,实现切割过程中的实时冷却,有效抑制材料翘曲;同时在内部罗拉结构中心设置收集装置,自动收集切割后的块状成品。本发明通过构建动态网络切割系统,实现圆柱体物料向块状的高效、高精度切割,提升加工质量与效率,尤其适用于碳化硅、氮化镓等超硬脆半导体材料加工,为半导体产业链上游衬底加工提供关键技术支撑。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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