北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“准直器和磁控溅射设备”的专利，公开号CN121331529A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明公开一种准直器和磁控溅射设备，所公开的准直器包括环状基部和中心调节部，所述中心调节部包括多个中心围挡，所述环状基部环绕所述多个中心围挡，所述多个中心围挡均移动地设于所述环状基部，所述多个中心围挡围合成沿所述环状基部的中心轴线的延伸方向贯通的中心通孔，所述多个中心围挡可相对所述环状基部沿所述中心通孔的径向移动，以调节围合成的所述中心通孔的孔径。上述方案可以解决采用相关技术中的准直器在磁控溅射设备进行沉积薄膜工艺时存在沉积的薄膜均匀性较差的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1351次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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