北京
国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种线性分布喷淋组件及显影装置”的专利，公开号CN121325530A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供了一种线性分布喷淋组件及显影装置，包括：进液部内开设进液路；线性储液结构的一侧设有进液部；线性储液结构内开设有第一级分流流道、储液槽和第二级分流流道，第一级分流流道的入口端连通至进液路的出口端；第一级分流流道下开设储液槽，第一级分流流道的出口端连通至储液槽；储液槽下开设有第二级分流流道。本发明的显影装置通过设置的进液部侧向连接线性分布喷淋组件、以及线性分布喷淋组件的两级分流流道的设计，能够确保显影液在晶片表面均匀分布，避免了因喷淋不均而导致的显影质量问题。
天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20162.7296万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目329次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息650条，此外企业还拥有行政许可67个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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