国家知识产权局信息显示,上海广川科技有限公司申请一项名为“一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质”的专利,公开号CN121335495A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质,其中装置包括:末端执行器,用于拾取及承载晶圆;线性传感器,其成对设置于所述末端执行器上,所述两个线性传感器的测量方向指向所述末端执行器上理论晶圆圆心,且两者测量方向之间的夹角。
天眼查资料显示,上海广川科技有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5540.0526万人民币。通过天眼查大数据分析,上海广川科技有限公司参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息186条,此外企业还拥有行政许可21个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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