北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于最小化热应变的掩模版设计”的专利，公开号CN121336146A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种用于减小掩模版中的热应变的方法，包括：确定掩模版在所述掩模版的使用期间的目标操作温度；基于所述掩模版的所述目标操作温度来调整所述掩模版的热膨胀（TE）性质；以及将所述掩模版曝光于辐射以执行制造过程。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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