国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于最小化热应变的掩模版设计”的专利,公开号CN121336146A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,一种用于减小掩模版中的热应变的方法,包括:确定掩模版在所述掩模版的使用期间的目标操作温度;基于所述掩模版的所述目标操作温度来调整所述掩模版的热膨胀(TE)性质;以及将所述掩模版曝光于辐射以执行制造过程。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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